I15 凹部を有する微小機械要素の精度計測のためのナノマシニング : 微小径先端を有する探針の試作(I1 加工・生産システム1(マイクロ技術の高度化))

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文

著者

• 黒河 周平

  九州大学大学院工学研究院

• 黒河 周平

  九大

• 今村 信也

  九大院

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