K34 脱真空・スプレー/ナノインプリント融合プロセス技術による有機EL薄膜の超精密製膜技術(第一報)(K3 CMPII)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-03-17

著者

• 黒河 周平

  九大

• 小林 義典

  旭サナック

• 土肥 俊郎

  九大

• 佐藤 行一

  住友化学(株)

• 大西 修

  九大

• 岩橋 孝典

  九大院

• 村田 昌彦

  九大

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