G22 微小径ロータリ・エンコーダ開発のためのナノ・マシニング : グレーティング・ディスク上の放射格子溝の試作および評価(G2 加工・生産システム2)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文

著者

• 黒河 周平

  九大

• 今村 信也

  九大院

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