平坦化CMPにおけるナノトポグラフィとその低減を目指すマイクロモーション機構導入の両面同時ポリシング装置

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 砥粒加工学会の論文
• 2004-08-01

著者

• 土肥 俊郎

  九州大学

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 市川 浩一郎

  不二越機械工業(株)

• 土肥 俊郎

  九州大学大学院

• 市川 浩一郎

  不二越機械工業株

関連論文

• STI-CMP性能に及ぼすウェーハエッジ形状の影響 : FEM解析を用いたウェーハ面圧分布計算による考察(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
• Cu配線材の電気化学的ポリシング法の基礎的研究(3)
• シリコンウェーハ製造研磨におけるウェーハエッジ形状の影響評価
• 半導体デバイスと平坦化加工技術の動向と今後の展開(半導体デバイスの平坦化技術)
• 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニング法の開発 : 酸化膜ILDの連続CMPにおける研磨特性とパッド表面状態の評価
• 21413 シリコンウェーバ製造時の研磨におけるウェーハエッジ形状の影響(CMP,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
• 427 極座標型ロボットによる非球面研磨の基礎検討(OS12 研削・砥粒加工)
• 第1回環太平洋プラナリゼーションCMPとその応用技術に関する国際会議2004
• 超LSIデバイスウエハのプラナリゼーションCMP技術( 専門委員会・分科会研究レビュー) : プラナリゼーション加工/CMP応用技術専門委員会
• プラナリゼーション/CMPとその応用
• 4H-SiC(0001)面の高能率研削
• 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究 : 粒子挙動解析と洗浄実験による考察
• 超高圧マイクロジェットによる半導体CMPパッドの洗浄・コンディショニング技術
• 豊かな人間性と創造力を養うものづくり教育に関する研究(第六報) : 間題解決能力を養う技術科カリキュラムの改善と教材開発
• 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニングに関する研究 : 蛍光スラリーを利用したパッド溝内のスラリー残渣の洗浄性確認
• 半導体プロセスにおけるCMP技術と適用材料の最新動向
• 豊かな人間性と創造力を養うものづくり教育に関する研究(第5報)「生活する力」を育てる技術科カリキュラムの検討
• 高圧マイクロジェットを用いたCMPパッドコンディショニング技術
• 新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化 : ポリッシングパッドのコンディショニングへの適用
• 平坦化CMPにおけるナノトポグラフィとその低減を目指すマイクロモーション機構導入の両面同時ポリシング装置
• 加工雰囲気を制御したベルジャー型ポリシング(CAP)装置とそのCMP特性
• プラナリゼーション CMP とアメリカにおけるその最新動向
• 金属アルコキシドを用いた湿式化学法によるCdTe膜の形成と特性評価
• リン酸含有系スラリーによるCu-CMP特性
• 新しいベルジャー型CMP装置(第二報) : ベルジャー内の雰囲気ガスによるCu-CMP特性と加工メカニズム
• 半導体プロセスにおけるプラナリゼーションCMP技術
• 問題解決能力を養う技術科カリキュラムの設計及びロボット教材の再検討
• 新しいベルジャー型CMP装置(第1報):ベルジャー型CMP法の提案と基本的CMP特性
• 金属Cuの鏡面研磨加工(5):LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 問題解決能力を養う技術科教材の開発と中学校における実践及び学習評価方法
• 半導体産業の進展経緯に関する考察(第1報):半導体産業の現状と今後の動向分析
• 小片工具による研磨のシミュレーション:熟練技能者を想定した研磨操作運動
• 多軸研磨ヘッドを用いた非球面研磨
• アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨(2)
• プラナリゼーションCMP用固定砥粒型パッドの試作とその加工特性
• フッ素樹脂を用いた平坦化CMP用パッドの試作とその加工特性
• ULSI基板のプラナリゼーションCMPに関する研究(第3報)形状溝によるスラリー層の流体挙動に関する基礎的考察
• 豊かな人間性と創造力を養うものづくり教育に関する研究(第4報)問題解決能力を養う新技術科カリキュラムの実践と評価方法の検討
• アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨
• 多軸ポリシャヘッドの試作
• 超LSIデバイスウェハーの平坦化CMPに関する研究
• 金属Cuの鏡面研磨加工(4) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングに基礎検討
• 問題解決能力を養う技術科教材と開発と中学校における実践
• LEGO MINDSTORMSを教材としたメカトロニクスを学ぶ授業の開発(2) : 学習評価方法の検討
• 鉄系材料の回転バレル研磨による鏡面加工
• 炭化ケイ素セラミックスのELID鏡面研削特性
• 基板の平滑化・平坦化加工技術 - 主として半導体基板の超精密ポリシング/CMP技術 -
• 豊かな人間性と創造力を養うものづくり教育に関する研究(第3報)RoboCupJr.と関連付けた新技術科カリキュラムにおける教材開発
• 水素イオン活量に支配されない分散剤レス高純度CMPスラリーの製造技術
• CMPスラリーのインラインにおける均一希釈技術と装置
• 微細気泡を含有しない分散剤レス高純度CMPスラリーの製造技術
• プラナリゼーション・ポリシング/CMPの基礎的検討 : 硬質パッドへのダイヤモンド砥粒の適応を可能とする均一微粒子化並びに固定に関する技術
• 酸化膜のCMP特性-添加物フリーのスラリー作製-
• 分散材を使用しないCMPスラリーの製造技術, 及びそのスラリーの精密分粒とそのコントロール技術
• LEGO MINDSTORMSを教材としたメカトロニクスを学ぶ授業の開発
• モノづくり教育に関わる教材開発
• 超精密研磨/CMP技術とその最新動向(その2)最新のCMP技術とトライボケミカル応用 (特集 微細加工技術とトライボロジー)
• 7 創造性の構造に関する基礎的研究
• 3431 学術としての「創造工学」に関する体系化の研究 (2)
• 3430 学術としての「創造工学」に関する体系化の研究 (1)
• スターリングエンジンの軽量設計とその試作
• 高圧酸素環境場で光触媒反応を重畳させた革新的加工法 : 密閉式ベルジャ型CMP装置(トピックス)
• 磨製出土品における砥粒加工技術--翡翠を用いた勾玉とその製作工程 (特集 伝統工芸品に息づく砥粒加工技術)
• S1101-3-4 歯車の歯当たりとかみ合い評価法について : 可展円筒歯車歯面の図式展開について(伝動装置の基礎と応用セッション3)
• 先端技術教育用スターリングエンジン飛行機の設計と製作
• 小型高出力スターリングエンジンの駆動機構に関する研究・試作
• 光学・電子部品用のガラス研磨用酸化セリウム砥粒の低減研磨法と代替砥粒の提案 (特集 オプトメカトロニクス部品にかかわる希少金属とその削減技術)
• 差動トランス(LVDT)を応用した終点検出機構の特性-2step Cu CMPへの適用-
• CMP研磨特性の考察 : エアーフロート型ヘッドにおけるウェーハの挙動
• ELIDを援用した固定砥粒による非球面X線ミラーのポリシングに関する研究
• 超硬合金のELID鏡面研削切断特性
• GSOのELID研削加工特性
• 509 窒化アルミのELIDラップ研削加工特性(機械工作・生産工学)
• H24 フュームドシリカスラリーによる層間絶縁膜CMPにおける粗大砥粒とマイクロスクラッチの関係 : マイクロスクラッチ観察法の検討について(H2 加工(CMP-2))
• H23 密閉型CMPシステムによるCu-CMPとその加工モデルの提案(H2 加工(CMP-2))
• プラナリゼーションCMP技術に関わる最近の動向 (特集 砥粒(研削・研磨)加工技術)
• 埼玉(さきたま)古墳からの出土品(金錯銘鉄剣)の再現加工に関する研究
• H14 有機EL材料の噴霧とその平坦化に関する検討(H1 加工(CMP-1))
• 超高圧マイクロジェットを用いたパッドドレッシングに関する研究
• 新しい超高圧ジェットを用いたパッドドレッシング技術
• 酸化膜プラナリゼーションシ・ポリシング/CMPの基礎的検討-ダイレクトエアー加圧法とパッドの効果-
• メタル膜CMPの終端検出
• デバイスウェハの表面基準研磨加工
• 21106 電解複合CMPにおける加工レートと電解液充填率との関係(プロセス技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
• プラナリゼーションCMP技術に関する研究--アリゾナ大学との共同研究
• ILDのCMPにおけるパッド溝形状の効果
• SiC単結晶の研磨加工技術に関する基礎研究
• 半導体基板の平滑化加工技術 (特集 表面処理技術の展望)
• CMP特性に及ぼすパッド溝断面の傾斜角の影響
• 20306 ECMPの研磨圧力依存性シミュレーション(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(2),オーガナイズドセッション)
• 315 加工環境制御型密閉式両面CMP装置の設計試作とその加工特性(GS 生産加工II)
• 320 CMP用パッドのコンディショニング特性の定量的評価法とその考察(GS 生産加工III)
• 308 SiC基板の精密加工/CMPプロセスへの酸化マンガン系スラリーの適用(GS 生産加工I)
• 114 ダイレクトドライブCNC座標測定機の開発(GS 潤滑I)
• CMP用スラリーのリサイクルとそのインパクト (特集 砥粒・研磨剤・砥石のリサイクル技術)
• CMP用スラリーのリサイクルとそのインパクト
• レーザ誘導方式深穴評価システムの開発
• K43 フユームドシリカスラリーによるCu-CMP特性とスクラッチの簡易評価法(K4 CMPIII)
• OS1-3 マイクロ歯車のかみ合いとその精度計測のための微小径ロータリエンコーダの開発(OS1-I・A1 機械要素の強度評価と性能向上・加工)
• K31 Sic微粒子の性状把握とスラリーへの応用可能性の検討(K3 CMPII)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク