山崎 努 | 九州大学大学院
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概要
関連著者
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土肥 俊郎
九州大学大学院
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大西 修
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山崎 努
九州大学大学院
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黒河 周平
九州大学大学院
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畝田 道雄
九州大学大学院
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黒河 周平
九州大学大学院工学研究院
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大西 修
九州大学大学院工学研究院
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土肥 俊郎
埼玉大学教育学部
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黒河 周平
九大
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山崎 努
九州大学大学院工学研究院
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山崎 努
九大
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黒河 周平
九大 大学院工学研究院
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会田 英雄
並木精密宝石(株)
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梅崎 洋二
九州大学大学院
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石川 憲一
金沢工業大学
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成瀬 尚
金沢工業大学大学院
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畝田 道雄
金沢工大
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尹 涛
九州大学大学院工学府知能機械システム専攻
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山口 靖英
三井金属鉱業
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KISHII Sadahiro
Fujitsu Laboratories Ltd.
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岸井 貞浩
(株)富士通研究所
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畝田 道雄
金沢工業大学
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瀬下 清
九州大学大学院
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Kishii Sadahiro
Device Integration Technology Laboratories, Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa 243-0197, Japan
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岸井 貞浩
(株) 富士通研究所
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村田 慎太郎
金沢工業大学大学院
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山口 靖英
三井金属鉱業 (株)
著作論文
- 化学機械研磨(CMP)と研磨剤(教科書から一歩進んだ身近な製品の化学)
- 画像処理によるスラリーフローの定量評価研究
- 研磨パッドにおける各種溝パターンがスラリーフローに及ぼす影響
- 加工環境コントロール型CMP装置によるガラス基板の研磨特性
- 酸化セリウムとその代替を目指す酸化マンガン系スラリーによるガラス基板の研磨特性とその加工メカニズム