CuAl合金配線を適用した32nmノード対応高信頼性配線技術の開発
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概要
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- 2010-01-29
著者
-
岡田 紀雄
NECエレクトロニクス先端デバイス開発部
-
藤井 邦宏
NECエレクトロンデバイス先端デバイス開発本部(現)NECセミコンダクターズUK
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今井 清隆
NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部
-
横川 慎二
NECエレクトロニクス
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井口 学
NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部
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相澤 宏一
NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部
-
角原 由美
NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部
-
土屋 秀昭
NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部
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戸原 誠人
NECエレクトロニクス株式会社プロセス技術部
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渡部 忠兆
株式会社東芝半導体研究開発センター
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