戸原 誠人 | NECエレクトロニクス株式会社プロセス技術部

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概要

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• 同名の論文著者
• NECエレクトロニクス株式会社プロセス技術部の論文著者

関連著者

• 藤井 邦宏

  NECエレクトロンデバイス先端デバイス開発本部(現)NECセミコンダクターズUK

• 横川 慎二

  NECエレクトロニクス

• 角原 由美

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 土屋 秀昭

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 戸原 誠人

  NECエレクトロニクス株式会社プロセス技術部

• 岡田 紀雄

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発部

• 横川 慎二

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 今井 清隆

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 井口 学

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 相澤 宏一

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 渡部 忠兆

  株式会社東芝半導体研究開発センター

• 藤井 邦宏

  Necエレクトロニクス株式会社プロセス技術部

• 横川 慎二

  Necエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 横川 慎二

  Necエレクトロニクス株式会社

• 横川 慎二

  電気通信大学

• 角原 由美

  Necエレクトロニクス株式会社 先端デバイス開発部

• 土屋 秀昭

  Necエレクトロニクス株式会社 先端デバイス開発部

• 泰地 稔二

  NECELプロセス技術事業部

• 関根 誠

  NECエレクトロニクス株式会社

• 大音 光市

  NECエレクトロンデバイス先端デバイス開発本部

• 大音 光市

  Necエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 宇佐美 達矢

  NECエレクトロニクス(株)

• 黒川 哲也

  NECエレクトロニクス(株)

• 本山 幸一

  NECエレクトロニクス(株)

• 有田 幸司

  Necエレクトロニクス

• 本山 幸一

  Necエレクトロニクス

• 宇佐美 達矢

  Necエレクトロニクス株式会社

• 相澤 宏一

  NEC Electronics Corporation

• 鈴木 三惠子

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 川原 尚由

  NECエレクトロニクス(株)

• 岡田 紀雄

  Necエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発部

• 菊田 邦子

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 竹脇 利至

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 鈴木 三恵子

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 豊嶋 宏徳

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 土屋 楽章

  NECエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 泰地 稔二

  NECエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 黒川 哲也

  Necエレクトロニクス株式会社先端テスト評価技術事業部

• 井口 学

  Necエレクトロニクス株式会社 先端デバイス開発部

• 相澤 宏一

  Necエレクトロニクス株式会社 先端デバイス開発部

• 川原 尚由

  Necエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 渡部 忠兆

  株式会社東芝セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 泰地 稔二

  ルネサスエレクトロニクス生産本部

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著作論文

• CuAl合金配線を適用した32nmノード対応高信頼性配線技術の開発(配線・実装技術と関連材料技術)
• 微細銅配線において車載信頼性を実現するための新抵抗率評価手法(配線・実装技術と関連材料技術)
• CuAl合金配線を適用した32nmノード対応高信頼性配線技術の開発

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