Ultra low-k 膜対応のCMP技術
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概要
著者
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石川 彰
産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター半導体miraiプロジェクト
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吉川 公麿
広島大学:産業総合研究所
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松尾 尚典
技術研究組合 超先端電子技術開発機構半導体MIRAIプロジェクト
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吉川 公麿
広島大学 ナノデバイス・システム研究センター
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Kikkawa Takamaro
Advanced Semiconductor Research Center (asrc) National Institute Of Advanced Industrial Science And
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Kikkawa Takamaro
Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist
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