石川 彰 | 産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター半導体miraiプロジェクト
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概要
関連著者
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石川 彰
産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター半導体miraiプロジェクト
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吉川 公麿
広島大学:産業総合研究所
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松尾 尚典
技術研究組合 超先端電子技術開発機構半導体MIRAIプロジェクト
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Kikkawa Takamaro
Advanced Semiconductor Research Center (asrc) National Institute Of Advanced Industrial Science And
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Kikkawa Takamaro
Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist
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吉野 雄信
半導体mirai-asrc-aist
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中野 昭典
半導体mirai-aset
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清野 豊
産業総合研究所
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木下 啓蔵
半導体MIRAI-ASET
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石川 彰
半導体MIRAI-ASET
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清野 豊
半導体MIRAI-産総研ASRC
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尾形 哲郎
半導体MIRAI-ASET
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園田 譲
半導体MIRAI-ASET
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後藤 隆
半導体MIRAI-ASET
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高田 省三
半導体MIRAI-産総研ASRC
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市川 理恵
半導体MIRAI-産総研ASRC
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三好 秀典
半導体MIRAI-ASET
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松尾 尚典
半導体MIRAI-ASET
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吉川 公麿
半導体MIRAI-産総研ASRC
-
市川 理恵
半導体mirai-asrc-aist
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木下 啓蔵
NEC
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高田 省三
半導体mirai-asrc-aist
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吉野 雄信
広島大 ナノデバイス・システム研セ
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木下 啓蔵
半導体先端テクノロジーズ
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林 喜宏
NECシステムデバイス研究所
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林 喜宏
NECシリコンシステム研究所
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田中 博文
三井化学
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高村 一夫
三井化学
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秦 信宏
産業総合研究所
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川原 潤
半導体MIRAI-ASET
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国見 信孝
半導体MIRAI-ASET
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林 喜宏
半導体MIRAI-ASET
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高橋 秀樹
半導体MIRAI-ASET
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足立 三郎
半導体MIRAI-ASET
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奥 良彰
半導体MIRAI-ASET
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山田 和弘
半導体MIRAI-ASET
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高村 一夫
半導体MIRAI-ASET
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藤井 宣年
半導体MIRAI-ASET
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秦 信宏
半導体MIRAI-ASRC-AIST
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根来 千絵
半導体MIRAI-ASRC-AIST
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大池 俊輔
半導体MIRAI-ASET
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田中 博文
半導体MIRAI-ASET
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林 喜宏
マイクロエレクトロニクス研究所
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林 喜宏
日本電気株式会社
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吉川 公麿
広島大学 ナノデバイス・システム研究センター
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林 喜宏
Necエレクトロニクス Lsi基礎開研
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川原 潤
Necエレクトロニクス
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林 喜宏
Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所
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川原 潤
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
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林 喜宏
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
著作論文
- A New Plasma-Enhanced Co-Polymerization (PCP) Technology for Reinforcing Mechanical Properties of Organic Silica Low-k/Cu Interconnects on 300 mm Wafers(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- 自己集合体化技術を用いた超低誘電率多孔質シリカ膜(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- Ultra low-k 膜対応のCMP技術