田中 博文 | 三井化学

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概要

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関連著者

• 田中 博文

  三井化学

• 高村 一夫

  三井化学

• 清野 豊

  産業総合研究所

• 秦 信宏

  産業総合研究所

• 吉川 公麿

  広島大学:産業総合研究所

• Kikkawa Takamaro

  Advanced Semiconductor Research Center (asrc) National Institute Of Advanced Industrial Science And

• Kikkawa Takamaro

  Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist

• 吉野 雄信

  半導体mirai-asrc-aist

• 中山 高博

  アルバック

• 清野 豊

  半導体MIRAI-産総研ASRC

• 吉川 公麿

  半導体MIRAI-産総研ASRC

• 高村 一夫

  半導体MIRAI-ASET

• 藤井 宣年

  半導体MIRAI-ASET

• 秦 信宏

  半導体MIRAI-ASRC-AIST

• 田中 博文

  半導体MIRAI-ASET

• 木下 啓蔵

  NEC

• 吉野 雄信

  広島大 ナノデバイス・システム研セ

• 木下 啓蔵

  半導体先端テクノロジーズ

• 隣 真一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 曽田 栄一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 斎藤 修一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 石川 彰

  産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター半導体miraiプロジェクト

• 中野 昭典

  半導体mirai-aset

• 隣 真一

  半導体先端テクノロジーズ

• 木下 啓藏

  半導体先端テクノロジーズ

• 平川 正明

  アルバック

• 曽田 栄一

  半導体先端テクノロジーズ

• 吉川 公麿

  広島大学

• 斎藤 修一

  半導体先端テクノロジーズ

• 木下 啓蔵

  半導体MIRAI-ASET

• 石川 彰

  半導体MIRAI-ASET

• 尾形 哲郎

  半導体MIRAI-ASET

• 園田 譲

  半導体MIRAI-ASET

• 後藤 隆

  半導体MIRAI-ASET

• 高田 省三

  半導体MIRAI-産総研ASRC

• 市川 理恵

  半導体MIRAI-産総研ASRC

• 三好 秀典

  半導体MIRAI-ASET

• 松尾 尚典

  半導体MIRAI-ASET

• 奥 良彰

  半導体MIRAI-ASET

• 山田 和弘

  半導体MIRAI-ASET

• 根来 千絵

  半導体MIRAI-ASRC-AIST

• 大池 俊輔

  半導体MIRAI-ASET

• 市川 理恵

  半導体mirai-asrc-aist

• 高田 省三

  半導体mirai-asrc-aist

• 松尾 尚典

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構半導体MIRAIプロジェクト

• 中山 高博

  半導体MIRAI-ASET

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著作論文

• 高空孔率(50%)高強度(9GPa)自己組織化ポーラスシリカ膜を用いた32nmノードLSI向け超低誘電率膜(k=2.1)Cuダマシン多層配線(配線・実装技術と関連材料技術)
• 自己集合体化技術を用いた超低誘電率多孔質シリカ膜(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
• ポーラスシリカの低誘電率絶縁膜への応用

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