市川 理恵 | 半導体MIRAI-産総研ASRC
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概要
関連著者
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吉野 雄信
半導体mirai-asrc-aist
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半導体MIRAI-産総研ASRC
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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NEC
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半導体先端テクノロジーズ
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Kikkawa Takamaro
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三井化学
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-ASET
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林 喜宏
マイクロエレクトロニクス研究所
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林 喜宏
日本電気株式会社
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林 喜宏
Necエレクトロニクス Lsi基礎開研
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川原 潤
Necエレクトロニクス
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林 喜宏
Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所
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川原 潤
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
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林 喜宏
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
著作論文
- A New Plasma-Enhanced Co-Polymerization (PCP) Technology for Reinforcing Mechanical Properties of Organic Silica Low-k/Cu Interconnects on 300 mm Wafers(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- 自己集合体化技術を用いた超低誘電率多孔質シリカ膜(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)