吉川 公麿 | 半導体MIRAI-産総研ASRC
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概要
関連著者
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半導体mirai-asrc-aist
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尾形 哲郎
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半導体MIRAI-ASET
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半導体MIRAI-産総研ASRC
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木下 啓蔵
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林 喜宏
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ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
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著作論文
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- 自己集合体化技術を用いた超低誘電率多孔質シリカ膜(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- ポーラスシリカの低誘電率絶縁膜への応用