ゲート酸化膜薄膜化の課題と展望

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2000-09-10

著者

• 鳥海 明

  東京大学大学院

• 鳥海 明

  東京大学

• 鳥海 明

  東京大学大学院工学系研究科

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