減圧HVPE法による周期溝加工AlN/サファイア上へのELO-AlN (電子部品・材料)

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2010-11-11

著者

• 藤田 浩平

  三重大学大学院工学研究科

• 三宅 秀人

  三重大学工学部電気電子工学科

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