MOMBE法によるAIGaSbの成長
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概要
著者
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朝日 一
大阪大学産業科学研究所
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権田 俊一
大阪大学産業科学研究所
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Okuno Yasutoshi
Lsi Manufacturing Technology Unit Wafer Process Engineering Development Division Renesas Technology
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Okuno Y
Lsi Manufacturing Technology Unit Wafer Process Engineering Development Division Renesas Technology
-
奥野 泰利
日本テキサスインスツルメンツ(株)、ulsi技術開発センター
-
奥野 泰利
大阪大学産業科学研究所
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金子 忠昭
大阪大学産業科学研究所
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井谷 康志
大阪大学産業科学研究所
-
Okuno Yasutoshi
ULSI Process Technology Development Center, Semiconductor Company, Matsushita Electronics Corp., 19, Nishikujo-kasuga cho, Minami-ku, Kyoto 601-8413, Japan
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