ナノポーラス陽極酸化膜を利用したバイオトランジスタの作製(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術及び一般)
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概要
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陽極酸化ポーラスアルミナは規則的な高次ナノ構造を有し、さまざまな用途が期待できる。本研究では、ナノポーラスアルミナを用いたDNA分子流路を有する有機ナノバイオトランジスタを提案した。このバイオセンサ素子はDNA固有の塩基が有する微少電荷をナノトランジスタ構造によって解析するデバイスである。DNAセンサ素子実現の第1段階として、減圧加熱ウェットプロセスを用いて有機半導体(銅フタロシアニン)材料を陽極酸化法で形成したナノポーラスへ注入した有機ナノトランジスタを作製した。ここでは、ナノトランジスタの作製方法と基礎的電気特性の評価を行った結果について報告する。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-04-18
著者
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