MIS構造における非弾性トンネルスペクトロスコピーのシミュレーション
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概要
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非弾性トンネルスペクトロスコピー(IETS : Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy)は1966年にJaklevicとLambeにより提案された有機薄膜の評価法である。この手法では薄い絶縁膜をトンネルする電子を分子振動モード検出用のプローブとして用いている。したがって赤外、ラマン分光法と異なり厳密な選択則はなく両者のピークが同時に観測可能であり、さらに両者で禁制なピークも観測できるといわれている。また非常に感度が高く単分子層以下(およそ10^<10>[分子/mm^2])の測定も可能であるといわれる。さらに、その測定範囲によっては、電子遷移、絶縁体中の不純物準位あるいはそのバンド構造(障壁高さなど)の評価も可能で、一般的なトンネルスペクトルの要素も含んでいる。通常IETSでは、金属-絶縁層-金属(MIM)構造が用いられる。しかしMIM構造では金属酸化膜の絶縁性が不十分である。そこで我々は片側の電極にn型のハイドープSi、絶縁膜にSiO_2を用いた金属-絶縁層-半導体(MIS)構造を提案している。本研究では、MIS構造に対するIETSのシミュレーションプログラムを作成し、ピークの形状、特性などをシミュレーションした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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