高温成長によるGaAsN混晶の結晶性向上(Siウェハ上結晶成長・評価・デバイス応用,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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Si上発光デバイスの活性層材料としてGaAsN混晶は有望である460℃で成長した試料に比べ、600℃で成長したGaAsN混晶のPLスペクトルは半値全幅が狭く、高エネルギー側の裾が小さくなった。また、PLピークエネルギーの温度依存性において、局在状態が少ないことが示唆された600℃付近で成長したGaAsN/GaP SQWでは、PL積分強度の温度依存性において温度消光が少なくなった。これは、成長温度を高くすることにより、Nに起因する点欠陥の抑制が出来たためであると考えられる。以上のことから、高温で成長することによりGaAsN混晶の結晶性の向上が可能であることが分かった。
- 2012-05-10
著者
-
岡田 浩
豊橋技術科学大学
-
関口 寛人
上智大理工:crest-jst
-
若原 昭浩
豊橋技術科学大学
-
浦上 法之
豊橋技術科学大学
-
岡田 浩
豊橋技術科学大学エレクトロニクス先端融合研究所
-
若原 昭浩
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
関口 寛人
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学専攻
-
深見 太志
豊橋技術科学大学
-
関口 寛人
豊橋技術科学大学
-
岡田 浩
豊橋技術科学大学 工学部
-
深見 太志
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
浦上 法之
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
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