高温環境下で動作するCOガスセンサに向けたPt/GaNショットキバリアダイオードの評価(センサ,撮像,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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概要

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• 高温環境下で動作し、COガスに対して高い感度を有するガスセンサを目指してPt/GaNショットキバリアダイオードを作製し、室温〜300℃、大気〜真空の種々の条件下でAir、N_2ガスを流してI-V測定を行い、特性を評価した。その結果、逆方向電流・直列抵抗はガス種によらず、温度を上昇させると増加する傾向にあった。またガス種によらず、圧力を変化しても特性は変化しないことがわかった。そしてCOガスを流すと、濃度に応じた電流密度の変化が得られた。

• 2011-05-12

著者

• 岡田 浩

  豊橋技術科学大学

• 関口 寛人

  上智大理工:crest-jst

• 若原 昭浩

  豊橋技術科学大学

• 若原 昭浩

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 関口 寛人

  上智大理工:jst-crest

• 関口 寛人

  豊橋技術科学大学電気・電子情報工学専攻

• 丸山 大地

  豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系

• 関口 寛人

  豊橋技術科学大学

• 岡田 浩

  豊橋技術科学大学 工学部

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