ゲル-ナノインプリントプロセスによるZnO-2次元フォトニック結晶の作製(シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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本研究では、プリント技術によるナノ構造体を持った酸化亜鉛(ZnO)形成を目指し、スピンコート法を利用したZnOゲル膜形成およびナノインプリント法によるZnOゲル膜のパターニングプロセスを検討し、2次元フォトニック結晶構造の作製を試みた。ZnOゲル膜はゾルーゲル前駆体溶液をガラス基板上に塗布し、乾燥温度を80℃から250℃まで変化させることで形成した。180℃と220℃で乾燥させたZnOゲル膜に対してのみパターン転写が確認された。また220℃乾燥サンプルには、明瞭な転写パターンが見られ、220℃乾燥サンプルの表面像および断面像観察により、転写パターン幅とモールド幅の一致が確認された。ZnO膜を酸素及び大気中で焼成し、その結晶構造・屈折率を評価したところ、同程度のランダム配向を有す一方、酸素焼成ZnO膜がより高い屈折率(1.92)を有していることがわかった。
- 2011-12-09
著者
-
西田 貴司
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
堀田 昌宏
奈良先端大
-
西田 貴司
奈良先端大
-
石河 泰明
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
浦岡 行治
奈良先端科学技術大学院大
-
浦岡 行治
奈良先端大:crest
-
堀田 昌宏
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
石河 泰明
奈良先端科学技術大学院大学
-
呂 莉
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
張 敏
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
荒木 慎司
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
張 敏
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
呂 莉
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
西田 貴司
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
堀田 昌宏
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
石河 泰明
奈良先端科技大:CREST-JST
-
荒木 慎司
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
浦岡 行治
奈良先端大物質創成科学研究科
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