76GHz帯車載レーダー用低雑音高信頼性InP/GaAsSb DHBT(化合物半導体IC及び超高速・超高周波デバイス/一般)
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概要
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車載ミリ波レーダーへの適用を目的として、低1/f雑音で高信頼性であるInP/GaAsSb DHBTを試作した。1/f雑音の低減、及び信頼性の向上には再結合電流の抑制が重要である。InP/GaAsSb DHBTの再結合電流を解析した結果、べース表面に起因する準位が再結合電流の支配要因であることが分かった。そこで、べース表面の再結合電流を抑制すべく、べース表面構造をガードリングとSiN表面保護膜で最適化した。最適化したHBTの1/f雑音は7dBの低減効果があり、また1000hrの高温DC通電試験でも劣化は示さなかった。最適化したHBTを用いたW帯発振器の位相雑音は、最適化前と比較して10dB低い-107 dBc/Hz@1MHz-offsetと優れた特性を示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2011-01-06
著者
-
天清 宗山
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
金谷 康
三菱電機株式会社
-
後藤 清毅
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
宮國 晋一
三菱電機株式会社 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
山本 佳嗣
三菱電機株式会社
-
山本 佳嗣
三菱電機高周波光素子事業統括部
-
山本 佳嗣
三菱電機 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
宮國 晋一
三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
-
宮国 晋一
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
宮國 晋一
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
天清 宗山
三菱電機株式会社
-
島 顕洋
三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
-
後藤 清毅
三菱電機株式会社
-
小坂 尚希
三菱電機株式会社
-
島 顕洋
三菱電機株式会社
-
山本 桂嗣
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
宮國 晋一
三菱電機株式会社
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