C-2-31 MEMS技術を用いたキャビティ構造Si基板へフリップチップ実装したW帯ミクサ(C-2.マイクロ波A(マイクロ波・ミリ波能動デバイス),エレクトロニクス1,一般講演,2006年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会)

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