集中定数型MEMS 5ビット移相器(電磁界理論及びマイクロ波関連技術,光・電波ワークショップ,マイクロ波フォトニクス技術,一般)
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概要
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集中定数素子で構成された小形なMEMS 5ビット移相器を開発した.直列インダクタとMEMSスイッチを備えたシャントキャパシタからなる容量切替型移相器を新たに考案し,これを本移相器の下位2ビットに適用した.上位3ビットは,基準状態であるT型HPFと移相状態であるπ型LPFをMEMSスイッチで切替えるHPF/LPF切替型移相器を用いた.さらに,回路を構成する素子を,集中定数のインダクタおよびキャパシタで形成することで,小形化を実現した.試作した集中定数型MEMS 5ビット移相器は,13〜15GHzにおいて,通過損失6.8dB以下,RMS移相量誤差8.2°以内の特性をチップサイズ5.1mm×12mm(6.12mm^2)で得ることができ,本構成の有用性が確認できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-07-26
著者
-
西野 有
三菱電機株式会社
-
橘川 雄亮
三菱電機株式会社
-
西野 有
三菱電機
-
西野 有
三菱電機情報技術総合研究所
-
西野 有
三菱電機株式会社情報技術総合研究所
-
橘川 雄亮
三菱電機情報技術総合研究所
-
半谷 政毅
三菱電機情報技術総合研究所
-
井上 博元
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
橘川 雄亮
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
李 相錫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機 先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)
-
井上 博元
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
橘川 雄亮
三菱電機 (株) 情報技術総合研究所
-
西野 有
三菱電機 (株) 情報技術総合研究所
-
半谷 政毅
三菱電機 (株) 情報技術総合研究所
-
李 相錫
三菱電機 (株) 先端技術総合研究所
-
井上 博元
三菱電機 (株) 先端技術総合研究所
-
宮崎 守泰
三菱電機 (株) 情報技術総合研究所
-
Lee Sang-Seok
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
-
宮崎 守泰
三菱電機株式会社
-
Lee Sang‐seok
三菱電機
-
宮崎 守泰
三菱電機(株)
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