C-2-2 微細加工キャビティ構造を用いた CPW MEMS スイッチの設計
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-10
著者
-
西野 有
三菱電機株式会社
-
高木 直
東北大学電気通信研究所
-
高木 直
三菱電機株式会社
-
半谷 政毅
三菱電機株式会社
-
檜枝 護重
三菱電機株式会社
-
石田 修己
韓国情報通信大学工学部
-
石田 修己
三菱電機株式会社
-
檜枝 護重
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
李 相錫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
宮口 賢一
三菱電機株式会社 情報技術総合研究所
-
石田 修己
三菱電機株式会社情報技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
李 相錫
三菱電機株式会社
-
末廣 善幸
三菱電機株式会社
-
飯田 明夫
三菱電機株式会社
-
宮口 賢一
三菱電機
-
末廣 善幸
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
飯田 明夫
三菱電機
-
Lee Sang-Seok
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
-
Lee Sang‐seok
三菱電機
-
宮口 賢一
三菱電機株式会社
-
吉田 幸久
三菱電機株式会社
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