AIInAs/GaInAs HEMT材料におけるフッ素パッシベーション効果
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
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早藤 紀生
三菱電機(株)高周波光素子事業統括部
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早藤 紀生
三菱電機 光・マイクロ波デバイス開発研究所
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山本 佳嗣
三菱電機株式会社
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山本 佳嗣
三菱電機高周波光素子事業統括部
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山本 佳嗣
三菱電機 光・マイクロ波デバイス開発研究所
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早藤 紀生
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
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山本 佳嗣
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
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佐藤 和彦
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
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