C-10-12 高性能広帯域デジタル超音波センサのためのGaAs基板上MEMSマイクロフォンの作製(C-10.電子デバイス,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-09-01
著者
-
前澤 宏一
富山大学 工学部電気電子システム工学科
-
森 雅之
富山大学工学部
-
前澤 宏一
富山大学工学部
-
森 雅之
富山大学理工学教育部
-
前沢 宏一
NTT LSI研究所
-
柴田 真吾
富山大学大学院理工学研究部
-
前澤 宏一
名古屋大学量子工学専攻
-
前澤 宏一
Ntt-lsi研究所
-
前澤 宏一
富山大学理工学研究部(工学)
-
柴田 真吾
富山大学理工学教育部
-
笠原 康司
富山大学理工学教育部
-
松田 憲治
富山大学理工学教育部
-
前澤 宏一
NTT LSI Laboratories
-
前澤 宏一
早大理工
-
前澤 宏一
富山大学理工学教育部:研究部
-
森 雅之
富山大学理工学教育部:研究部
-
笠原 康司
富山大学大学院理工学研究部
-
森 雅之
富山大学理工学教育学部
-
前澤 宏一
富山大学理工学教育学部
-
森雅 之
富山大学大学院理工学研究部
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