周波数変調ΔΣAD変換器を用いたデジタルマイクロフォンセンサの可能性(センサデバイス,MEMS,一般)
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概要
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周波数変調信号を用いたFMΔΣアナログ-デジタル(AD)変換器は,高分解能,高いダイナミックレンジが可能というΔΣAD変換器の利点に加えて,高周波動作が容易であるという利点もある.また,この方式は,入力信号をFM信号に変換することにより,容易にアナログ-デジタル変換が可能なため,様々なセンサ一応用が可能である.ここでは,コンデンサマイクロフォン白身を共振器の一部に用いて高周波のFM信号を生成することにより,音響信号を直接デジタル信号に変換できるMEMSデジタルマイクロフォンセンサの可能性について調べた.SU-8を用いた簡易MEMSマイクロフォンと個別デバイスによりプロトタイプデバイスを作製し,その原理動作を実証した.
- 2010-09-06
著者
-
前澤 宏一
富山大学 工学部電気電子システム工学科
-
森 雅之
富山大学工学部
-
前澤 宏一
富山大学工学部
-
前沢 宏一
NTT LSI研究所
-
前澤 宏一
富山大学大学院理工学研究部
-
柴田 真吾
富山大学大学院理工学研究部
-
高岡 和央
富山大学大学院理工学研究部
-
森 雅之
富山大学大学院理工学研究部
-
前澤 宏一
名古屋大学量子工学専攻
-
前澤 宏一
Ntt-lsi研究所
-
前澤 宏一
NTT LSI Laboratories
-
前澤 宏一
早大理工
-
前澤 宏一
富山大学理工学教育部:研究部
-
森 雅之
富山大学理工学教育部:研究部
-
高岡 和央
富山大学理工学教育学部
-
森雅 之
富山大学大学院理工学研究部
-
高岡 和央
富山大学理工学研究部
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