周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス(<小特集>第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
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概要
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In this paper, we studied basic characteristics of the SAW propagation. When periodic micro structures were formed on the SAW transmission region, the propagation characteristics were dynamically changed. The prototype devices based on this analysis were fabricated and demonstrated. Conventional SAW elements were consisted of IDTs on the piezoelectric material and its transmitting frequency was just determined by the pitch of the IDTs. The periodic micro structures formed on the SAW transmission region can modulate the SAW propagation. Since periodic micro structures are controlled dynamically using the MEMS techniques, phase, frequency and transmitting power of the SAW can be modified.
- 2010-08-25
著者
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
宮下 雅広
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
長澤 純人
東大
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学大学部工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大
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