超音波デバイス ワイヤレスセンサノードのための表面弾性波を用いた高感度ひずみセンサ

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 桑野 博喜

  東北大学工学研究科

• 桑野 博喜

  東北大院

• 原 基揚

  東北大工

• 包 忠青

  東北大工学研究科

• 原 基揚

  東北大工学研究科

関連論文

• 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
• 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
• 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
• フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
• 真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
• アクティブ制御を使った広帯域インテリジェント発電システムの可能性
• 両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究
• アジ化銀微小ペレットの着火・爆轟特性
• MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発
• 2109 グレーティング構造を用いた表面弾性波動的制御デバイスの研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 2108 圧電薄膜によるマイクロ発電デバイス(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 3301 ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
• 3303 PZT圧電薄膜マイクロカンチレバーを用いたマイクロ発電(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
• 表面弾性波を利用したマイクロ流体制御
• 自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ
• 5514 細胞修飾用マイクロシステムの研究 : コンセプトと微小針作製プロセス(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
• 5505 ナノ領域の温度計測を目指した非接触式マイクロシステムの研究(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
• M5-4 表面弾性波素子における位相・周波数変調デバイス(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
• 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス
• M1-3 フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(M1 製作技術,材料)
• P32-01 超小形ガスタービン発電機の研究プロジェクト
• M7-4 マイクロ振動発電機への整流回路の集積(M7 ナノ・マイクロシステム)
• ユビキタスネットワークサービス用超高感度ひずみセンサ
• 2412 表面弾性波を用いた新しいマイクロインジェクタの研究 : コンセプトと製作(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• M3-3 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(M3 熱流体デバイス)
• 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討
• M3-2 輻射局在成分操作による放熱技術の検討(M3 熱流体デバイス)
• 2415 表面弾性波を用いた超高感度ひずみセンサの研究(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• 122 炭化珪素微細加工とマイクロガスタービンとに関する研究
• 東北大学大学院 工学研究科ナノメカニクス専攻 情報ナノシステム分野
• ユビキタスネットワークサービスにおけるMEMS/NEMSの役割 : ネットワークMEMS/NEMSの提案
• W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
• T0302-2-1 表面弾性波素子を用いたガスセンサシステムの研究([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
• T1601-1-5 3次元マイクロ振動発電デバイスの研究([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
• S1701-1-2 集積化マイクロ発電デバイスの研究(エコプロダクツの高性能・高機能化と安全,社会変革を技術で廻す機械工学)
• MNM-5B-3 3次元マイクロ振動発電デバイスの周波数特性の研究(セッション 5B マイクロエネルギー)
• MNM-P10-2 マイクロ発電システムのための整流機構(P10 マイクロエネルギー)
• MNM-P10-1 共振型圧電マイクロカンチレバーの機械的安全性向上 : 低共振周波数を持つAlNマイクロカンチレバーの設計、製作及び発電特性(P10 マイクロエネルギー)
• 2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)
• 1J3-2 無線観測システミのための表面弾性波素子を用いた高感度ひずみセンサ(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))
• 超音波デバイス ワイヤレスセンサノードのための表面弾性波を用いた高感度ひずみセンサ
• 2E3-2 (K,Na)NbO_3用いた超小型エネジーハーベスタの開発(圧電デバイス,海洋音響)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク