真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
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概要
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- 2009-07-23
著者
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
小貫 哲平
東北大学先進医工学研究機構
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桑野 博喜
東北大学
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科
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