2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)

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概要

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• 2011-11-08

著者

• 桑野 博喜

  東北大学工学研究科

• 桑野 博喜

  東北大院

• 原 基揚

  東北大工

• 原 基揚

  東北大工学研究科

• 桑野 博喜

  東北大工学研究科

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