5505 ナノ領域の温度計測を目指した非接触式マイクロシステムの研究(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In this paper, we propose a new temperature measurement system for nano-meter scale area. A purpose of this research is a realization of a non contact type measurement system. A measurement probe in our system consists of a pyroelectoric detector and a infrared rays shielding board with a nano-scale aperture. The pyroelectoric detector is made of lead zirconate titanate (PZT) by MEMS techniques. Pyroelectric current of the PZT was successfully measured. Maximum value of pyroelectric current was 136μA. The measurement probe consists of Ni/PZT/Pt/Ti/SiO_2 structure. Dimensions of our probe are 260μm in length, 80μm in width, 1μm in thickness.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
田中 克洋
仙台ニコン
-
田中 克洋
東北大・院
-
桑野 博喜
東北大学
-
長澤 純人
東大
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
桑野 博喜
東北大 大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大
-
桑野 博喜
東北大
関連論文
- 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- マイクロ・ナノ工学の展開(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 水晶振動子式化学センサにおける高分解能周波数検出法
- 精密工学会75周年に寄せて : 東北支部の産官学の連携活動(5.2 支部の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- 真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
- アクティブ制御を使った広帯域インテリジェント発電システムの可能性
- 両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究
- アジ化銀微小ペレットの着火・爆轟特性
- MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発
- 2109 グレーティング構造を用いた表面弾性波動的制御デバイスの研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 2108 圧電薄膜によるマイクロ発電デバイス(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 3301 ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
- 3303 PZT圧電薄膜マイクロカンチレバーを用いたマイクロ発電(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
- 表面弾性波を利用したマイクロ流体制御
- 自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ
- 5514 細胞修飾用マイクロシステムの研究 : コンセプトと微小針作製プロセス(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- 5505 ナノ領域の温度計測を目指した非接触式マイクロシステムの研究(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
- 水晶振動子式化学センサにおける高分解能周波数検出法
- 2P2-C11 カイコガの触覚電位計測用テレメトリシステム(57. 昆虫ロボット・マイクロメカトロニクス)
- 温度補償型超音波式液面レベル計の開発
- レーザービーム走査型管路検査センサの光学設計
- レーザビーム走査型管路検査センサの光学設計について
- 地下掘削推進機械用の水中超音波信号伝送技術
- レーザビーム走査法を用いた管路内面形状測定における欠陥検出の試み
- 水を満たした送水管を利用した超音波信号の伝送に関する実験結果
- PB15 管内水中超音波信号伝送技術の研究(ポスタセッションB-概要講演・展示)
- センサ信号伝送技術の研究--超音波を用いたエ-スモ-ル用信号伝送 (情報センシング)
- 環境センシングの研究-2-環境保護に役立つ通信設備保守用センシング装置の開発 (情報センシング)
- レ-ザビ-ム走査法による管路内面検査の研究 (情報センシング)
- 管内形状検査用レーザビーム走査型距離測定法
- M5-4 表面弾性波素子における位相・周波数変調デバイス(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス
- 2P2-61-087 赤外線擬似フェロモンを用いたカイコガロボットの行動評価
- フェロモンセンサを持つ小型移動ロボットを利用した行動解発機構の研究
- M1-3 フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(M1 製作技術,材料)
- M7-4 マイクロ振動発電機への整流回路の集積(M7 ナノ・マイクロシステム)
- SIMULTANEOUS MEASUREMENT OF CHANGE IN CA FLUORESCENCE AND PHYSIOLOGICAL RESPONSE BY MEMS INJECTOR(Physiology,Abstracts of papers presented at the 76^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- ユビキタスネットワークサービス用超高感度ひずみセンサ
- 2412 表面弾性波を用いた新しいマイクロインジェクタの研究 : コンセプトと製作(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- 微小流路内のリポソームの流動特性(OS7-3マイクロ・ナノフルイディクス(マイクロ・ナノ生態流体))
- 11-330 東北大学機械系大学院におけるインターンシッププログラム((21)インターンシップ-III)
- M3-3 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(M3 熱流体デバイス)
- 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討
- M3-2 輻射局在成分操作による放熱技術の検討(M3 熱流体デバイス)
- 2415 表面弾性波を用いた超高感度ひずみセンサの研究(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- 剛体単振子の制御 : (2)追従制御
- 剛体単振子の制御 : (1)最適軌道の算定
- NEW APPROACHES TO CALCIUM IMAGING OF INSECT BRAIN BY GLASS PIPETTES(Physiology,Abstracts of papers presented at the 76^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- 東北大学大学院 工学研究科ナノメカニクス専攻 情報ナノシステム分野
- ユビキタスネットワークサービスにおけるMEMS/NEMSの役割 : ネットワークMEMS/NEMSの提案
- W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
- T0302-2-1 表面弾性波素子を用いたガスセンサシステムの研究([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T1601-1-5 3次元マイクロ振動発電デバイスの研究([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
- S1701-1-2 集積化マイクロ発電デバイスの研究(エコプロダクツの高性能・高機能化と安全,社会変革を技術で廻す機械工学)
- MNM-5B-3 3次元マイクロ振動発電デバイスの周波数特性の研究(セッション 5B マイクロエネルギー)
- MNM-P10-2 マイクロ発電システムのための整流機構(P10 マイクロエネルギー)
- MNM-P10-1 共振型圧電マイクロカンチレバーの機械的安全性向上 : 低共振周波数を持つAlNマイクロカンチレバーの設計、製作及び発電特性(P10 マイクロエネルギー)
- 2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)
- 1J3-2 無線観測システミのための表面弾性波素子を用いた高感度ひずみセンサ(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))
- F1601-(2) マイクロ・ナノ発電技術の最前線(【F1601】マイクロ・ナノ工学の最前線,先端技術フォーラム)
- 高速レーザビーム走査型管路検査装置におけるレーザパワー制御
- 超音波デバイス ワイヤレスセンサノードのための表面弾性波を用いた高感度ひずみセンサ
- 136 表面弾性波を用いた加速度検出の一検討(材料力学IV/情報・知能・精密機器/機械力学・計測制御,一般講演)
- 6-3 焦電体を用いた非接触微小領域温度計測の研究(セッション6:マイクロ物理センサ)
- MP-27 表面弾性波伝搬経路に溝構造を持つ局所噴霧デバイス(ポスターセッション)
- MP-19 振動発電デバイスに用いられるエレクトレット用材料の経時特性(ポスターセッション)
- 3-5 発電電極並列化による静電誘導型振動エネルギー変換器の最適設計(OS3 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)