3303 PZT圧電薄膜マイクロカンチレバーを用いたマイクロ発電(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
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概要
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In this paper, we propose micro electric power generation device. The device is fabricated by MEMS technique. PZT film is deposited onto a Si cantilever by magnetron RF sputtering. Electric power is generated when the cantilever is bended and stressed. The cantilever has 1200μm in length, 600μm in width, and 50μm in thickness. The device can convert mechanical vibration energy into electric energy. Good crystalline orientation was needed for high piezoelectric property. We analyzed the crystalline orientation of PZT by XRD, and decided the adequate deposition condition. The device generated electric power about 1pW.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
柴田 和誠
東北大・院
-
田中 克洋
仙台ニコン
-
桑野 博喜
東北大学
-
長澤 純人
東大
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
桑野 博喜
東北大 大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大
-
桑野 博喜
東北大
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