2109 グレーティング構造を用いた表面弾性波動的制御デバイスの研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
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概要
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This paper reports a dynamic control device for surface acoustic wave (SAW) modulation by using grating structures and periodic convex structures. A grating structure between transmitting and receiving IDTs and a periodic convex structure for putting into the grating structure was fabricated to control dynamically a surface acoustic wave. We used LiNbO_3 for piezoelectric substrate, and Silicon for periodic convex structure. IDTs were designed as 99MHz and 66MHz. It is shown that resonant frequency of IDTs were changed to a lower value by effect of the grating structure and that noise level was decreased by putting the convex structure on the grating structure.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-17
著者
-
宮下 雅広
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
宮下 雅広
東北大院
-
桑野 博喜
東北大院
-
長澤 純人
東北大院
-
小貫 哲平
東北大院
-
長澤 純人
東大
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大
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