M3-3 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(M3 熱流体デバイス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper reports development of novel micro fluidic device using surface acoustic wave (SAW). The device can control micro channel flow with flow rate ranging from 1.5 to 700 nl/min. We found that two different driving modes exist depending on the channel height. Also reported here is how liquid droplet motion changes by experimental conditions.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-10-15
著者
-
佐野 拓也
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
北條 真紀
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
浜手 雄一郎
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
長澤 純人
東北大院
-
小貫 哲平
東北大院
-
長澤 純人
東大
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
佐野 拓也
東北大院
-
北條 真紀
東北大工
-
浜手 雄一郎
東北大院
-
長澤 純人
東北大
-
浜手 雄一郎
東北大
関連論文
- 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- C-3-97 多層模型フォトニック結晶による波長フィルター(フォトニック結晶デバイス,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- 真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
- アクティブ制御を使った広帯域インテリジェント発電システムの可能性
- 両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究
- アジ化銀微小ペレットの着火・爆轟特性
- MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発
- 2109 グレーティング構造を用いた表面弾性波動的制御デバイスの研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 2108 圧電薄膜によるマイクロ発電デバイス(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 3301 ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
- 3303 PZT圧電薄膜マイクロカンチレバーを用いたマイクロ発電(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
- 表面弾性波を利用したマイクロ流体制御
- 自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ
- 5514 細胞修飾用マイクロシステムの研究 : コンセプトと微小針作製プロセス(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- 5505 ナノ領域の温度計測を目指した非接触式マイクロシステムの研究(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
- 1-220 「輝く女性の機械系」を目指した教育の取り組み : 機械・知能系男女共同参画推進委員会、同WGおよび女子学生交流会スタッフの活動について(オーガナイズドセッション「明日の女性エンジニア,一人ひとりが日本を変える」,口頭発表論文)
- C-3-80 フォトニック結晶アレイを用いた波長分割イメージングデバイス(C-3. 光エレクトロニクス(フォトニック結晶), エレクトロニクス1)
- 2P2-C11 カイコガの触覚電位計測用テレメトリシステム(57. 昆虫ロボット・マイクロメカトロニクス)
- フォトニック結晶型分光フィルターとその生体計測への応用 (特集 バイオと光技術)
- M5-4 表面弾性波素子における位相・周波数変調デバイス(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- 周期的微細構造によるSAW位相・周波数変調デバイス
- 2P2-61-087 赤外線擬似フェロモンを用いたカイコガロボットの行動評価
- フェロモンセンサを持つ小型移動ロボットを利用した行動解発機構の研究
- M1-3 フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(M1 製作技術,材料)
- M7-4 マイクロ振動発電機への整流回路の集積(M7 ナノ・マイクロシステム)
- SIMULTANEOUS MEASUREMENT OF CHANGE IN CA FLUORESCENCE AND PHYSIOLOGICAL RESPONSE BY MEMS INJECTOR(Physiology,Abstracts of papers presented at the 76^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- ユビキタスネットワークサービス用超高感度ひずみセンサ
- 2412 表面弾性波を用いた新しいマイクロインジェクタの研究 : コンセプトと製作(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- 微小流路内のリポソームの流動特性(OS7-3マイクロ・ナノフルイディクス(マイクロ・ナノ生態流体))
- M3-3 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(M3 熱流体デバイス)
- 表面微細構造による輻射場操作を用いた放熱技術の検討
- M3-2 輻射局在成分操作による放熱技術の検討(M3 熱流体デバイス)
- C-3-66 Al_2O_3をコアに用いた可変光導波路の検討(C-3. 光エレクトロニクス(導波路デバイス2), エレクトロニクス1)
- 2415 表面弾性波を用いた超高感度ひずみセンサの研究(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- 微細構造化された無機・金属材料による光・電磁材料特性の制御技術 : フォトニック結晶・電磁メタマテリアル
- 剛体単振子の制御 : (2)追従制御
- 剛体単振子の制御 : (1)最適軌道の算定
- NEW APPROACHES TO CALCIUM IMAGING OF INSECT BRAIN BY GLASS PIPETTES(Physiology,Abstracts of papers presented at the 76^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- 東北大学大学院 工学研究科ナノメカニクス専攻 情報ナノシステム分野
- ユビキタスネットワークサービスにおけるMEMS/NEMSの役割 : ネットワークMEMS/NEMSの提案
- W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
- T0302-2-1 表面弾性波素子を用いたガスセンサシステムの研究([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T1601-1-5 3次元マイクロ振動発電デバイスの研究([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
- S1701-1-2 集積化マイクロ発電デバイスの研究(エコプロダクツの高性能・高機能化と安全,社会変革を技術で廻す機械工学)
- MNM-5B-3 3次元マイクロ振動発電デバイスの周波数特性の研究(セッション 5B マイクロエネルギー)
- MNM-P10-2 マイクロ発電システムのための整流機構(P10 マイクロエネルギー)
- MNM-P10-1 共振型圧電マイクロカンチレバーの機械的安全性向上 : 低共振周波数を持つAlNマイクロカンチレバーの設計、製作及び発電特性(P10 マイクロエネルギー)
- 2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)
- 1J3-2 無線観測システミのための表面弾性波素子を用いた高感度ひずみセンサ(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))
- 超音波デバイス ワイヤレスセンサノードのための表面弾性波を用いた高感度ひずみセンサ
- 136 表面弾性波を用いた加速度検出の一検討(材料力学IV/情報・知能・精密機器/機械力学・計測制御,一般講演)
- 6-3 焦電体を用いた非接触微小領域温度計測の研究(セッション6:マイクロ物理センサ)
- MP-27 表面弾性波伝搬経路に溝構造を持つ局所噴霧デバイス(ポスターセッション)
- MP-19 振動発電デバイスに用いられるエレクトレット用材料の経時特性(ポスターセッション)
- 3-5 発電電極並列化による静電誘導型振動エネルギー変換器の最適設計(OS3 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)