2412 表面弾性波を用いた新しいマイクロインジェクタの研究 : コンセプトと製作(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
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概要
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This paper proposes a novel micro injector using surface acoustic wave for a wide range injection from μ l/sec level to fl/sec level. It describes the fabrication and evaluation of the novel micro-injector. It was confirmed that Dyed water was successfully injected into the air with the help of Surface Acoustic Wave (SAW), which was generated by micro-machined Aluminum Inter-digital Transducer (IDT) on the AT-cut quartz substrate. In our knowledge, this kind of micro-injector using SAW is considered as the first device for fluidic injection.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
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