M1-3 フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(M1 製作技術,材料)
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概要
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In this paper we present two kinds of micro-machined micro ion sources for flexible and concurrent MEMS processes. One is the B.K. (Barkhausen-Kurz) oscillation type and another is the liquid metal ion source (LMIS) type. B.K. oscillation type micro ion source was successfully fabricated by using micro-machining. An ion beam current up to several μA was successfully generated from the B.K. type micro ion source unit having 〓Immx4.37 mm discharge space. The micro needle for LMIS type micro ion source was fabricated by plasma etching. The needle of length of 80 nm was fabricated.
- 2009-10-15
著者
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
田面木 真也
東北大学大学院工学研究科
-
上田 智之
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
桑野 博喜
東北大学
-
長澤 純人
東大
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大
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