田面木 真也 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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田面木 真也
東北大学大学院工学研究科
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Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
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東北大学大学院工学研究科
著作論文
- フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- M1-3 フレキシブル・同時並行MEMSプロセスを目指したマイクロイオン源の開発(M1 製作技術,材料)