2415 表面弾性波を用いた超高感度ひずみセンサの研究(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
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概要
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This paper proposes an ultra high sensitive stain gauge using surface acoustic wave (SAW) for Radio Frequency (RF)-ID and sensor networks. The strain measuring method by observing a shift of a SAW resonant frequency due to strain was numerically discussed. Sensitivity obtained by the method was strain of 10^<-10> when the SAW resonant frequency and frequency resolution were supposed 1GHz and 0.1Hz, respectively. A SAW device was designed and fabricated onto a Quartz crystal substrate by micromachining. It was shown that the resonant frequency characteristics of the device were compared and consistent with that obtained by theoretical analysis.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
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