M5-4 表面弾性波素子における位相・周波数変調デバイス(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
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概要
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In this paper, we studied basic characteristics of the SAW propagation. When the surface micro structures were built on the SAW path, the propagation characteristics were dynamically changed. The prototype devices based on this analysis were fabricated and demonstrated. Conventional SAW elements were consisted of IDTs on the piezoelectric material and its transmitting frequency was just determined by the pitch of the IDTs. The micro periodic structures built on the SAW path can modulate the SAW propagation. Since micro periodic structures are controlled dynamically using the MEMS techniques, phase, frequency and transmitting power of the SAW can be modified.
- 2009-10-15
著者
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
宮下 雅広
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大院
-
小貫 哲平
東北大学先進医工学研究機構
-
桑野 博喜
東北大学
-
長澤 純人
東大
-
小貫 哲平
東北大学大学院工学研究科
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大
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