MNM-P10-1 共振型圧電マイクロカンチレバーの機械的安全性向上 : 低共振周波数を持つAlNマイクロカンチレバーの設計、製作及び発電特性(P10 マイクロエネルギー)
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概要
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AlN thin films were used to develop piezoelectric microgenerators with low resonant frequency for harvesting vibration energy. The maximal stress at the clamped end of the cantilever and residual stress in AlN were considered to design the cantilever architecutre. With 2g acceleration, the microcantilevers fabricated by the micromachining process possess 2.35μW maximal output power at the resonant frequency of 1042 Hz.
- 2010-10-12
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