T0302-2-1 表面弾性波素子を用いたガスセンサシステムの研究([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
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概要
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In this study, a surface acoustic wave (SAW) gas sensor device is proposed for ubiquitous sensor networks to monitor environment. The propagation characteristics of SAW is changed by mass change at SAW substrate surface. The interdigital electrodes and detector film of the SAW gas sensor were fabricated and evaluated by Vector Network Analyzer.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-09-04
著者
-
長澤 純人
東北大学工学研究科
-
桑野 博喜
東北大学工学研究科
-
村川 佳誕
東北大学
-
桑野 博喜
東北大院
-
桑野 博喜
東北大学
-
長澤 純人
東大
-
Nagasawa Sumito
Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University
-
長澤 純人
東北大学大学院工学研究科
-
村川 佳誕
東北大
-
桑野 博喜
東北大 大学院工学研究科
-
長澤 純人
東北大
-
桑野 博喜
東北大
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