水晶振動子式化学センサにおける高分解能周波数検出法

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概要

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著者

• 桑野 博喜

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 小川 茂樹

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 瀬山 倫子

  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

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