有機分子スパッタリングにより作製した炭素質薄膜の構造と有機ガス収着特性
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概要
著者
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中村 雅之
NTT
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中村 雅之
日本電信電話株式会社NTT環境エネルギー研究所
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河西 奈保子
NTT物性科学基礎研究所
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中村 雅之
NTT環境エネルギー研究所
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安田 享祐
東京工科大学 バイオニクス学部
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瀬山 倫子
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
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杉本 岩雄
東京工科大学バイオニクス学部
-
真柴 孝行
東京工科大学 バイオニクス学部
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河西 奈保子
NTT入出力システム研究所
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中村 雅之
日本電信電話(株)ntt環境エネルギー研究所
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