佐野 拓也 | 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

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著作論文

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• 3301 ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
• 表面弾性波を利用したマイクロ流体制御
• M3-3 表面弾性波を用いた新しいマイクロ流体デバイスの研究(M3 熱流体デバイス)

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