桑野 博喜 | 東北大工学研究科

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• 桑野 博喜

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  Depertment Of Nanomechanics School Of Engineering Tohoku University

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• 佐野 広滋

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著作論文

• 2Pa3-5 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子におけるスプリアス抑制手法の提案(ポスターセッション)
• 1J3-2 無線観測システミのための表面弾性波素子を用いた高感度ひずみセンサ(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))

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