ステンレスを基材とするZnO振動型エナジーハーベスタの開発
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概要
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We developed the energy harvester employing piezoelectric zinc oxide (ZnO) thin film for application to large vibrational amplitude. To ensure the fracture toughness, stainless steel (SUS304) was employed as a substrate. Also, to prevent the electrical breakdown due to the pinholes in the ZnO film, conformal silicon oxide (SiO2) layer was inserted between the ZnO film and top electrode. By inserting the SiO2 layer, power efficiency was much enhanced. As a result, a generated power of 150nW was obtained when acceleration and load resistance were 0.7m/s2 and 670kΩ, respectively.
- 2013-04-01
著者
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桑野 博喜
東北大学大学部工学研究科ナノメカニクス専攻
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原 基揚
東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
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大口 裕之
東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
-
桑野 博喜
東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
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細川 翔多
東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
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