対向ターゲット式スパッタ法によるCo-Znスピネルフェライト薄膜の低温形成と磁気特性
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概要
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対向ターゲット式スパッタ装置により異なる基板温度においてCo-Znフェライト薄膜を作製した。基板加熱なしで作製された膜は結晶子が明確な(111)配向を示し、260emu, ccと比較的に大きな飽和磁化と適度に高い1.8kOeの保磁力をもっていた。さらに、その膜はほぼ同じ大きさの面内および垂直の保磁力に加えて、非常に平滑な表面および緻密で均質な膜構造をしていたので、対向ターゲット式スパッタ法により作製されたCo-Znフェライト膜は高密度の等方性磁気記録媒体として応用ができる可能性を持ち合わせていると思わる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-17
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