低誘電率層間絶縁膜のプラズマ化学気相堆積
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概要
著者
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西野 茂
京都工芸繊維大学工芸学部
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院
-
白藤 立
京都大学
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西野 茂弘
京都工芸繊維大学・工芸
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林康 明
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
-
白藤 立
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
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西野 茂弘
京都工芸繊維大学大学院電子情報工学専攻
-
西野 茂弘
京都工芸繊維大学
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林 康明
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
Hayashi Yutaka
Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory
-
Hayashi Yuzo
Irie Koken Co. Ltd.
-
Hayashi Y
Irie Koken Co. Ltd. Saitama Jpn
-
白藤 立
京大
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