Compact Electron Cyclotron Resonance Plasma Source Optimization for Ion Bearm Applications
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 1997-07-01
著者
-
Hayashi Yuzo
Irie Koken Co. Ltd.
-
DEN Shoji
Irie Koken Co., Ltd.
-
Den S
Irie Koken Co. Ltd.
-
Hayashi Y
Irie Koken Co. Ltd.
-
O'keeffe Patrick
Irie Koken Co. Ltd.
-
Yamakawa Kouji
Irie Koken Co. Ltd.
-
MUTOH Harunobu
Irie Koken Co., Ltd.
-
Mutoh Harunobu
Irie Koken Co. Ltd.
-
Den Shoji
Irie Koken Co. Ltd.
-
O′keeffe Patrick
Irie Koken Co., Ltd., 716-1 Shimoakasaka, Kawagoe, Saitama 350-11, Japan
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